Model UH115シリーズ

UH115 UH114シリーズの特長はそのままに、さらに仕上がりのバラツキを極限まで排除し、作業時間の短縮を可能にした半自動式ウェハ/フレーム・マウンター。エッジコンタクトステージにより、非接触での貼り付けも可能です。

特長

  • 貼り付けローラーのセミオート化による品質のバラツキ排除と作業時間短縮を
    実現
  • テープの剝がれ目にできる線を最大限に防止
  • デリケートなウェハにダメージを与えない1パスフィルムラミネーション
  • エッジコンタクト(非接触)ステージ対応

機種ラインナップ

Model UH115 (3〜6インチ対応)  
Model UH115-8 (8インチ対応)  
Model UH115-12 (12インチ対応) デモ可

オプション

  • 静電気除去設備(イオナイザー)
  • エッジコンタクト(非接触)ステージ
  • 特殊ステージ(事前にご相談ください)

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